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2009年，主动振动隔离解决方案专家Halcyonics GmbH和表面分析工具专家Nanofilm Technology GmbH合并为Accurion GmbH。这两个部门均已建立完善，并回顾了在开发和生产科学仪器方面的长期经验。自1991年以来，Nanofilm就一直是Brewster角显微镜和椭圆偏振成像技术的领导者。Halcyonics成立于1996年，是主动振动隔离的专家。 现有产品品牌Nanofilm和Halcyonics继续作为Accurion的产品部门。